今年以來，沈陽集成電路(IC裝備)產(chǎn)業(yè)喜報頻傳，繼4月20日沈陽拓荊科技在上海證交所科創(chuàng)板發(fā)行上市之后，5月5日，沈陽富創(chuàng)精密設(shè)備有限公司科創(chuàng)板首發(fā)順利過會。這標(biāo)志著沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)“上市軍團(tuán)”持續(xù)壯大，產(chǎn)業(yè)抱團(tuán)發(fā)展形勢良好。

　　作為國內(nèi)IC裝備產(chǎn)業(yè)的三大重點地區(qū)之一，沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)經(jīng)過多年發(fā)展，已初具規(guī)模和實力，集聚和培育出了一批優(yōu)勢骨干企業(yè)，在薄膜沉積、涂膠顯影、濕法刻蝕、清洗機(jī)等整機(jī)裝備和羅茨干泵、真空機(jī)械手等關(guān)鍵單元部件產(chǎn)品等方面形成了獨(dú)具特色的產(chǎn)業(yè)配套體系和批量生產(chǎn)能力，產(chǎn)品種類覆蓋沉積、光刻、刻蝕、封裝多個工藝領(lǐng)域。

　　“十三五”期間，沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)連續(xù)五年穩(wěn)定快速增長，年均增長率達(dá)到10.1%。產(chǎn)業(yè)已經(jīng)度過“孵化期”，進(jìn)入快速產(chǎn)業(yè)化階段，沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)已經(jīng)形成了“一項控制系統(tǒng)技術(shù)、八類重要整機(jī)裝備、一批關(guān)鍵單元部件和一個精密零部件支撐平臺”的配套體系和批量生產(chǎn)能力。

　　“相比其他城市，沈陽集成電路產(chǎn)業(yè)的鏈條比較完整?！笔泄ば啪窒嚓P(guān)負(fù)責(zé)人指出，沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)鏈上游擁有富創(chuàng)、新松、中科儀、硅基、中科博微等企業(yè)，能夠供應(yīng)反應(yīng)腔、真空干泵、機(jī)械手、控制軟件、SOI材料等零部件和控制系統(tǒng);產(chǎn)業(yè)鏈中游為整機(jī)裝備制造商。擁有芯源微、拓荊、儀表院等企業(yè)，可以進(jìn)行薄膜設(shè)備、涂膠顯影機(jī)、劃片機(jī)等IC整機(jī)制造和系統(tǒng)集成;產(chǎn)業(yè)鏈下游擁有中電科第47所和儀表院等企業(yè)，從事集成電路制造和封測。

　　經(jīng)過多年培育，沈陽集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模逐步壯大、產(chǎn)業(yè)類型日漸豐富。年初以來，受國際形勢影響，國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈迎來黃金發(fā)展期，國產(chǎn)替代市場空間巨大，行業(yè)景氣度持續(xù)向好。沈陽集成電路裝備企業(yè)積極把握市場機(jī)遇，持續(xù)加大研發(fā)投入、加大市場開拓力度，企業(yè)生產(chǎn)經(jīng)營穩(wěn)定向好。據(jù)市工信局統(tǒng)計，今年1-3月份，沈陽集成電路產(chǎn)業(yè)完成產(chǎn)值12億元，同比增長48%，行業(yè)發(fā)展進(jìn)入“快車道”。

　　當(dāng)前，鎖定“創(chuàng)新”和“產(chǎn)業(yè)”的沈陽，正在搶抓新一輪發(fā)展機(jī)遇，聚力創(chuàng)“芯”、聚勢發(fā)展，加快集成電路產(chǎn)業(yè)延鏈補(bǔ)鏈強(qiáng)鏈，全力打造中國集成電路裝備產(chǎn)業(yè)“芯”高地。

　　“發(fā)展集成電路裝備產(chǎn)業(yè)投入雖大，但發(fā)展后勁足，產(chǎn)業(yè)先天具有韌性強(qiáng)等特點，將為正處于轉(zhuǎn)型期的沈陽帶來源源不斷的新動能?！笔泄ば啪窒嚓P(guān)負(fù)責(zé)人表示，決勝“芯”時代，沈陽將不遺余力提供最專業(yè)的載體支撐、最完備的要素保障、最優(yōu)質(zhì)的營商環(huán)境，推動企業(yè)攜手科研界深化合作、協(xié)同創(chuàng)新，共同“破冰”關(guān)鍵核心技術(shù)，攜手開拓更多“針尖”領(lǐng)域，推動沈陽IC裝備產(chǎn)業(yè)發(fā)展闖出一條強(qiáng)“芯”之路。(來源：沈陽發(fā)布)